中頻小型真空（kōng）等離子處理機_廣赫捷智能裝備(蘇州)有限公司

小型真空等離子清洗機（jī）

Plasma model:EM010-01/EM015-01

廣赫捷智能（néng）裝備（蘇州）有限公司

一.設備介紹：

等離子電源、抽真空係統、進氣係統、自動控製係統等部分組成。工作基本原理（lǐ）是在真空狀態下，等離子作（zuò）用在（zài）控製和定性（xìng）方法下能夠電離氣體,利用（yòng）真空泵將腔體進行抽（chōu）真空達到30pa左右的（de）真空度，再在中頻電源作（zuò）用下，將氣體進行電離，形成等離子體（tǐ）（物質（zhì）第四態），其顯著的特（tè）點（diǎn）是高均勻（yún）性輝光放電，根（gēn）據不同氣體發出（chū）從藍色到深紫色（sè）的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理（lǐ）的表麵（miàn）發生作用，得到了表麵親水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等（děng）各種表麵改性。

二.設備亮點：

2.1 穩定性（xìng）：確保（bǎo）真空腔體在穩定壓力下處（chù）理材料，處理均勻性（xìng）好；

2.2 通用性：處（chù）理物幾何形狀無限製:大或小，簡單或複雜，部（bù）件或紡織品，均可處理。不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導（dǎo）體氧化物和大多數高分子材（cái）料都能很（hěn）好（hǎo）地處理；

2.3環保技術：等離子體作用（yòng）過程是氣- 固相幹式反應 ,不消耗水資源、無需添加（jiā）化學（xué）藥劑,對環境無汙染。

2.4 溫度低：接近常溫（wēn），特別適於高分子材料，比電暈（yūn）和火焰方法有較長保存時間和較（jiào）高表（biǎo）麵張力。

2.5功能強：僅涉及高分子（zǐ）材料淺表麵（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同時，賦予其一種或多種新的功能；

2.6可控性：裝置簡單，易（yì）操作維修，可連續運行，往（wǎng）往幾瓶氣（qì）體就（jiù）可（kě）以代替數千公斤清洗液,因此清洗（xǐ）成本會大大低於濕（shī）法清洗。

全過程可控工藝：所有參數可自主設置和數據記錄，進行工藝質

量控製；

三.處理效果檢測方法

3.1水滴角檢測

三：測試儀器及方法

3.2達因筆檢測

將達因筆垂直於要被測試的材（cái）料表麵，在表麵均勻的畫上一條直線，如果連續成直線（xiàn），沒有在5秒內產生收縮現場，則表明該材料表麵張力已經達到測試筆（bǐ）的張力值。若果筆頭（tóu）所到的地方斷斷續續，並凝聚成小水珠，則表明未達（dá）到測（cè）試筆的張力（lì）值

四.應用領（lǐng）域

IC半導體芯片領域：


GPU芯片	晶圓	芯片（piàn）

生物醫療行業：


培養皿	輸液管	胃管（guǎn）等

線路板行業：


線路板除膠	線路板印刷（shuā）	軟板

其它行業


矽膠	陶瓷	汽車（chē）中控屏

航空銀膜	聚合體接枝	曲麵玻（bō）璃

五.技術參數

型號	EM010-01	EM015-01
工（gōng）作方式	在真空狀態下放電
電（diàn）源功（gōng）率	0~800W	0~1000W
腔體（tǐ）容（róng）積	10升	15升
真（zhēn）空腔體（tǐ）尺寸	L200W260H200MM		L260W320H200MM
有效腔體（tǐ）尺寸	L200W260H165MM			L260W320H165MM
設備外形（xíng）尺（chǐ）寸	L650W500H450mm
設備氣體輸入	兩路氣路
腔體材質	304不鏽鋼
電源頻率	40KHZ
進入氣體	進（jìn）氣量：0^100ml/min(可調)，進氣壓力：小於0.7 MPA
過（guò）程控製	PLC 人機界麵自動與手動方式
總重量	50KG
總功率	2KW
主機電源	220VAC,50HZ

六.安裝說明

1	供電電網要求：AC220V,50Hz；供電電網波動： ± 5%，電網地線符合國際要求。電壓振幅5%以上的地（dì）區，應加（jiā）裝自動穩壓，穩流裝置；
2	現場要有無油空氣壓縮（suō）機，要求排氣壓力：0.4~0.6MPA
3	某些環境應（yīng）裝防靜（jìng）電地板（bǎn），加強屏蔽等;

中頻小（xiǎo）型真（zhēn）空等離子處理機

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