等（děng）離子清洗機(plasma cleaner)也叫（jiào）等離子清潔（jié）機，或者等離子表麵處理儀（yí），是一（yī）種全新的高科技技術，利（lì）用等離（lí）子體來達到常規（guī）清洗（xǐ）方（fāng）法無法達到的效果。等離子體是（shì）物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，並不屬於常見的固液（yè）氣三態。對氣體（tǐ）施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體（tǐ）的“活性”組分包括：離子、電子、原子（zǐ）、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離（lí）子清潔機就是通過（guò）利用這些活性組分（fèn）的性質（zhì）來處理樣品表麵，從而實現清潔、塗覆等目的。

      等離子清洗機按照作用可以分為四大類，分別是產（chǎn）品（pǐn）表麵清洗，產品表麵活化，產品表麵刻蝕，產 品表麵塗層，具體介紹如下：

      1-等離子（zǐ）表麵清洗是利用氣體電離後產生的（de）等離子體對汙染表（biǎo）麵進行物理濺射或化學反應的作用（yòng）分解（jiě）汙染物，分解的產物隨著氣（qì）流被帶離表麵，從而獲取清潔幹燥的（de）表麵。安全環保，無任何消耗品，成本低，對樣品無損害，清洗效果及佳。

      2-等離子表麵活化在工藝流程中，如果需要在後續步驟中進行鍍膜、噴塗（tú）或（huò）者粘合，那麽（me），就必須有選擇地（dì）活化原材料的表麵，使其有足夠的活性以與塗層材料形成（chéng）粘合劑粘結。要采用（yòng）水性油墨印刷、使用不含VOC的粘合劑而實現長效粘合、或者生產複合材料（liào），許多材料的表麵張力是遠（yuǎn）遠達不到要求的。采用等離子活化技（jì）術，可以有效地改變塑料、金屬、紡織品、玻璃、再生和複合材料的表（biǎo）麵特性。等（děng）離子活化（huà）技術能在適當的位置（zhì）、有針對性地改變材料表麵的能量。這樣便可顯著提高材料表麵的潤濕能（néng）力。印刷、塗覆、粘得牢，等離子活化（huà）少不了。

     3-等離子表麵刻蝕是半導體製（zhì）造、微電子（zǐ）IC製造以及微納（nà）製造工藝中的一個重要的步驟，是與光刻相聯係（xì）的圖形化處理的主要（yào）工藝。刻蝕狹（xiá）義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻（kè）膠進行光刻曝光處理（lǐ），然後通（tōng）過其它方式進行腐蝕，處理掉（diào）所需除去（qù）的部分。廣義上（shàng）來講（jiǎng），刻蝕是通過溶液、反應離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統稱，成為微加工製造的一種普適叫法。

     4-等離子表麵（miàn）塗層是向（xiàng）放電等離子體流中添加特殊的前體使得能夠將定製（zhì）材料層施加（jiā）到（dào）基材上。使（shǐ）用低壓等離子體（tǐ），可以改良基（jī）材特性。將氣態和液態（tài）原料通（tōng）入到（dào）真空室中，等離子體中（zhōng）的原材料、大部分短鏈單體會互相結合（hé），並形成長鏈（liàn）聚（jù）合物，從而塗覆在基材表麵，形成塗層。運用等離子技術，可以實現許多行業不同用途的需求，而原材料的選擇決定（dìng）了塗層特性：